设为首页 | 加入收藏 | 回到首页 会员登录 | 免费注册 | 企业列表 | 最新发布 | 繁體中文 | 使用帮助 | 联系我们
钢管在线图标 山东领航钢管欢迎您! 聊城钢管第一品牌
您所在的位置:首页 >> 资讯中心

山东烈火激光测试技术 激光脉冲退火(LSA)技术

 山东烈火激光测试技术

   激光三角测量术

  微凸点晶圆的出现使测量?#22270;?#27979;技术面临着巨大的挑战,对该技术的最基本要求是?#25105;?#21487;行的检测技术必须能达到测量微凸点特征尺寸所需的分辨率和灵敏度。在50m节距?#29616;?#20316;25m凸点的芯片技术,目前正在开发中,更小凸点?#26412;?#21644;更节距的技术也在发展中。另外,当单个芯片上凸点数量超过10000个时,晶?#24067;?#27979;系统必须?#24515;?#21147;来处理凸点数迅速增加的芯片和晶圆。分析软件?#22270;?#31639;机?#24067;?#24517;须拥有足够高的性能来存储和处理每个晶圆上所存在的数百万个凸点的位置和形貌数据。

  在激光三角检测术中,用一精细聚焦的激光束来扫描圆片表面,光学系统将反射的激光聚焦到探测器。采用3D激光三角检测术来检测微凸点的形貌时,在精度、速度和可检测性等方面,它具有明显的优势。

    颗粒测试

  颗料控制是晶片加工过程、器件制造过程中重要的一个?#26041;冢?#32780;颗粒的监测也就显得至关重要。颗粒测试设备的工作原理有两种,一种为光散射法;另一种为消光法。

  对于悬浮于气体中的颗粒,通常采用光散射法进行测试,同时某些厂家利用这种工作原理生产了测试晶片表面颗粒的设备?#27426;?#23545;于液体中的颗粒,这两种方法均适用。

  激光脉冲退火(LSA)技术

  该技术通过一长波激光器产生的微细激光束扫描硅片表面,在一微秒甚至更短的作用时问内产生~个小尺寸的局域热点。由于只有上表面的薄层被加热,硅片的整体依然保持低温,使得此表面层的降温速率几乎?#36864;?#30340;升温速率一样快。从固体可溶性的角度考虑,高峰值温度能够激活更多的掺杂原子,此外正如65nm及以下工艺所求的那样,较短的作用时间可以使掺杂原子的扩散降到最低。退火处理的作用范围可以限制在硅片?#31995;?#29305;定区域而不会影响到周围部位。

  该技术已经应用于多晶硅栅极的退火,在减少多晶硅的耗尽效应方面取得了显著的效果。K.Adachi等将闪光灯退火和激光脉冲退火处理的MOS管的Ion/Ioff进行了比较,在pMOS-FET和nMOSFET中,采用激光脉冲退火处理的器件的漏极电流要大10%,器件性能的增强可以直接归因于栅电极耗尽效应的改善?#22270;?#29983;电阻的减小

最新资讯 更多 >>  
* 无缝钢管8163流体管承压多少 [2019/9/30]
* 如何测试无缝钢管的硬度 [2019/9/2]
* 预测无缝钢管国庆后行情预测 [2019/8/6]
* 国内20G高压锅炉管现货市场运行?#21462;?/a> [2019/2/18]
* 不锈钢焊管模具表面是如何进行超硬… [2019/1/5]
* 社会和钢企27simn无缝管库存处于相… [2018/12/13]
* 不同?#26412;?8X18H10T不锈钢管和钛合… [2018/12/10]
* 镀锌钢管的焊接特点及焊接工艺是怎… [2018/12/3]
* 沪上316L不锈钢方管市场价格大幅上… [2018/11/26]
* 下游接货谨慎,Q345B方管市场库存… [2018/11/23]
热点新闻 更多 >>  
* 2寸钢管是多少厘米,2寸钢管外径是…
* 一寸钢管?#26412;?#26159;多少毫米/1寸钢管直…
* DN32焊管一米多重?|1.25寸的镀锌…
* 华东区上海今日热轧钢管价格表先知…
* 上海宝钢无缝钢管厂-无缝管价格-无…
* 贵州陶瓷钢管 贵州耐磨钢管 贵州螺…
* 河北无缝钢管市场 河北钢管厂家 河…
* 云南壁厚6mm管价格 云南内螺纹无缝…
推荐会员 更多 >>  
金牌会员 钢管在线现货调剂中心
友情提示:以下广告位信息展示来源于百度给您的推广,欢迎您查看欣赏!
网站地图钢管市场专栏公司简介付款方式联系方式使用帮助招聘人才
网站关键词:钢管网|无缝管|无缝钢管规格表|合金钢管价格|钢管厂|钢管公司|钢管在线
无缝钢管价格咨询:18106357068     业务咨询电话:0635-8899346   技术支持:前沿网络
2019 © 钢管在线  ALL RIGHTS RESERVED  

在线客服

  • 手机:18106357068
  • 电话:0635-8899346
辽宁省35选7走势图